半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽

命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供

了高可靠性。

功能和優(yōu)勢:

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無需預(yù)防性維護(hù)。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機(jī)功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降

低了總體占地面積。

技術(shù)參數(shù)：

極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

進(jìn)氣口連接：ISO63

出口連接：NW40

重量：244 kg

極限功率輸入：3.1 kW

電機(jī)額定功率：5.0 kW

1、確認(rèn)問題（如有需要，會在24小時內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認(rèn)真空泵故障）

2、故障原因（比其爾確認(rèn)故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協(xié)議后，甲方

安排人員上門提泵，針對珠三角地區(qū)客戶）

3、真空泵拆開報(bào)價(jià)（為了讓客戶更清晰的知道維修費(fèi)用，比其爾會給出詳細(xì)的維修清單及費(fèi)用）

4、確認(rèn)維修（客戶同意維修費(fèi)用后開始維修，維修配件為原裝正品，維修后所換配件全部還客

戶）

5、試機(jī)確認(rèn)（確保維修過后達(dá)到的真空度和穩(wěn)定性能，真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)）

6、送泵安裝（在試機(jī)OK后24小時內(nèi)，客戶可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵，看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果）

7、定期回訪（比其爾承諾，維修保修服務(wù)；統(tǒng)一質(zhì)保修6個月）

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160